多晶硅技術進步顯著 產業發展有過熱之虞（二）
http://www.diannaozhi.com 2009-01-04 14:50 中企顧問網
本文導讀：多晶硅技術進步顯著 產業發展有過熱之虞（二）
中國企業步入世界大廠行列
中硅高科建有兩個多晶硅生產廠(偃師工廠、洛陽工廠)和一個省級多晶硅工程技術研發中心。中硅高科產業化發展理念是：安全、環保、長治久安，產量、質量、達產達標，節能、降耗、良好效益，使用、操作、維護方便。
2006年，中硅高科的多晶硅產量為187噸，占全國總產量的65%，2007年，多晶硅產量506噸，占全國總產量的45%，連續兩年位居全國首位。預計2008年多晶硅產量1000噸，產量進入世界大廠行列。
目前，中硅高科生產的多晶硅部分產品已達到：P型電阻率3000Ω·cm-4800Ω·cm，N型電阻率300Ω·cm-480Ω·cm，少子壽命300μs-1250μs，質量穩定。
中硅高科多晶硅產業規劃分5期建設。一期：年產多晶硅300噸項目，2005年建成，已達產達標，該項目是國家發改委2005年重點行業結構調整支持項目；二期：年產多晶硅700噸項目，2007年建成，已穩定生產，該項目是國家發改委2006年新能源等高技術產業化專項支持項目。以上兩個項目多晶硅副產物綜合利用生產2000噸/年氣相二氧化硅項目正在實施過程中。三期：年產多晶硅2000噸項目，2008年建成，已穩定生產，此項目是國家發改委2007年支持高純硅材料等高技術產業化專項；四期：年產多晶硅2000噸項目，主體結構工程已封頂，預計2009年建成投產；五期：年產多晶硅2000噸項目將于2010年建成。總規模：合成三氯氫硅1萬噸/年，多晶硅8000噸/年，氣相二氧化硅4000噸/年，單條生產線達到國際公認經濟規模。
中硅高科建立了國內首個多晶硅企業工程技術研究中心，國內首個省級多晶硅工程技術中心，已運行兩年。中硅高科現針對多晶硅生產各主要環節建立6個研究平臺和1個檢測中心，解決了制約多晶硅材料大規模、低單耗、高品質、清潔生產的技術瓶頸，堅持“產學研”結合，培養、凝聚研發人才，形成持續研發能力。檢測中心建設采用國際多晶硅檢測標準與方法，配備國際先進水平的檢測儀器，面向我國多晶硅全行業，服務全行業。
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自主研發的多晶硅生產技術
中硅高科采用的是“物料內部循環、能量綜合利用”工藝，從根本上解決環境污染問題，實現清潔生產。
中硅高科采用“物料閉路循環、能量綜合利用”的方法生產多晶硅。中硅高科自主研發技術，包括：大型還原爐、氫化和尾氣干法回收技術為核心的產業化集成工藝、成套設備和全自動控制系統。
主要包括如下內容：
1.12對棒節能型多晶硅還原爐技術
單爐產量1400kg，電耗<200kWh/kg，2004年研究成功，已用于300噸/年試驗線，全自動控制，已穩定生產。
2.24對棒大型節能多晶硅還原爐
單爐產量4000kg，電耗160kWh/kg，2007年3月鑒定，已用于700噸/年項目，全自控，穩產。
3.大型高效加壓還原技術
單爐產量5000kg，電耗100kWh/kg～120kWh/kg，加壓操作，全自動控制。設備已安裝在三期工程中，正在運行考核。
4.大型低溫加壓SiCl4氫化技術轉化副產物SiCl4，處理能力5000kg/h以上，在運行考核中。
5.大型SiHCl3合成、提純工藝合成設備單套能力5000噸以上、產物加壓分離、尾氣干法回收；SiHCl3提純采用大型加壓、高溫、高效提純塔，滿足電子級高純硅用原料，在運行考核中。
6.大型全自控還原尾氣干法回收技術
尾氣處理能力7200m3/h以上，各組分回收率達到98%以上，已穩定運行。
7.多晶硅副產物綜合回收技術
將副產品SiCl4等轉化為氣相SiO2，SiCl4處理能力6000噸/年以上，氣相SiO22000噸/年，正在實施過程中。
8.超高純硅材料后處理
已研發和正在研發的技術覆蓋多晶硅生產全過程，形成多晶硅大規模、低單耗、高品質、清潔生產的技術體系。
中硅高科建有兩個多晶硅生產廠(偃師工廠、洛陽工廠)和一個省級多晶硅工程技術研發中心。中硅高科產業化發展理念是：安全、環保、長治久安，產量、質量、達產達標，節能、降耗、良好效益，使用、操作、維護方便。
2006年，中硅高科的多晶硅產量為187噸，占全國總產量的65%，2007年，多晶硅產量506噸，占全國總產量的45%，連續兩年位居全國首位。預計2008年多晶硅產量1000噸，產量進入世界大廠行列。
目前，中硅高科生產的多晶硅部分產品已達到：P型電阻率3000Ω·cm-4800Ω·cm，N型電阻率300Ω·cm-480Ω·cm，少子壽命300μs-1250μs，質量穩定。
中硅高科多晶硅產業規劃分5期建設。一期：年產多晶硅300噸項目，2005年建成，已達產達標，該項目是國家發改委2005年重點行業結構調整支持項目；二期：年產多晶硅700噸項目，2007年建成，已穩定生產，該項目是國家發改委2006年新能源等高技術產業化專項支持項目。以上兩個項目多晶硅副產物綜合利用生產2000噸/年氣相二氧化硅項目正在實施過程中。三期：年產多晶硅2000噸項目，2008年建成，已穩定生產，此項目是國家發改委2007年支持高純硅材料等高技術產業化專項；四期：年產多晶硅2000噸項目，主體結構工程已封頂，預計2009年建成投產；五期：年產多晶硅2000噸項目將于2010年建成。總規模：合成三氯氫硅1萬噸/年，多晶硅8000噸/年，氣相二氧化硅4000噸/年，單條生產線達到國際公認經濟規模。
中硅高科建立了國內首個多晶硅企業工程技術研究中心，國內首個省級多晶硅工程技術中心，已運行兩年。中硅高科現針對多晶硅生產各主要環節建立6個研究平臺和1個檢測中心，解決了制約多晶硅材料大規模、低單耗、高品質、清潔生產的技術瓶頸，堅持“產學研”結合，培養、凝聚研發人才，形成持續研發能力。檢測中心建設采用國際多晶硅檢測標準與方法，配備國際先進水平的檢測儀器，面向我國多晶硅全行業，服務全行業。
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自主研發的多晶硅生產技術
中硅高科采用的是“物料內部循環、能量綜合利用”工藝，從根本上解決環境污染問題，實現清潔生產。
中硅高科采用“物料閉路循環、能量綜合利用”的方法生產多晶硅。中硅高科自主研發技術，包括：大型還原爐、氫化和尾氣干法回收技術為核心的產業化集成工藝、成套設備和全自動控制系統。
主要包括如下內容：
1.12對棒節能型多晶硅還原爐技術
單爐產量1400kg，電耗<200kWh/kg，2004年研究成功，已用于300噸/年試驗線，全自動控制，已穩定生產。
2.24對棒大型節能多晶硅還原爐
單爐產量4000kg，電耗160kWh/kg，2007年3月鑒定，已用于700噸/年項目，全自控，穩產。
3.大型高效加壓還原技術
單爐產量5000kg，電耗100kWh/kg～120kWh/kg，加壓操作，全自動控制。設備已安裝在三期工程中，正在運行考核。
4.大型低溫加壓SiCl4氫化技術轉化副產物SiCl4，處理能力5000kg/h以上，在運行考核中。
5.大型SiHCl3合成、提純工藝合成設備單套能力5000噸以上、產物加壓分離、尾氣干法回收；SiHCl3提純采用大型加壓、高溫、高效提純塔，滿足電子級高純硅用原料，在運行考核中。
6.大型全自控還原尾氣干法回收技術
尾氣處理能力7200m3/h以上，各組分回收率達到98%以上，已穩定運行。
7.多晶硅副產物綜合回收技術
將副產品SiCl4等轉化為氣相SiO2，SiCl4處理能力6000噸/年以上，氣相SiO22000噸/年，正在實施過程中。
8.超高純硅材料后處理
已研發和正在研發的技術覆蓋多晶硅生產全過程，形成多晶硅大規模、低單耗、高品質、清潔生產的技術體系。
