東京電子推出晶圓級電容式MEMS測試機臺
http://www.diannaozhi.com 2008-12-08 04:31 中企顧問網
本文導讀：東京電子推出晶圓級電容式MEMS測試機臺，提供能源礦產、石油化工、IT通訊、房產建材、機械設備、電子電器、食品飲料、農林牧漁、旅游商貿、醫(yī)藥保艦交通物流、輕工紡織等行業(yè)專業(yè)研究報告
東京電子（TEL）在2008年度Semicon-Japan上推出TEMEON?系列之一的晶圓級MEMS測試機臺TEMEON?-C，用于電容式讀出MEMS器件。
在2006年，TEL推出針對壓阻式MEMS傳感器晶圓級測試的TEMEON?-M ，并已進入量產。針對目前更為復雜的電容式MEMS器件，TEMEON?-C可實現在晶圓級對加速度計和陀螺儀等器件精確的電容測量。
TEMEON?-C使用TEL的專利技術去除寄生電容以實現在任何測試環(huán)境下在晶圓級精確穩(wěn)定地量測fF (femto Farad) 量級的靜態(tài)電容。TEMEON?-C還可以直接量測動態(tài)電容以及MEMS結構的物理位移，反饋共振頻率和品質因子（Q-Value），以及通過/失效結果。
在2006年，TEL推出針對壓阻式MEMS傳感器晶圓級測試的TEMEON?-M ，并已進入量產。針對目前更為復雜的電容式MEMS器件，TEMEON?-C可實現在晶圓級對加速度計和陀螺儀等器件精確的電容測量。
TEMEON?-C使用TEL的專利技術去除寄生電容以實現在任何測試環(huán)境下在晶圓級精確穩(wěn)定地量測fF (femto Farad) 量級的靜態(tài)電容。TEMEON?-C還可以直接量測動態(tài)電容以及MEMS結構的物理位移，反饋共振頻率和品質因子（Q-Value），以及通過/失效結果。
